半導(dǎo)體材料氣體檢測儀

XPS-7II 型

長處

帶可互換傳感器單元的便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測儀

傳感器單元可隨時更換，單個單元可檢測各種氣體類型

世界上*小的便攜式吸入氣體檢測儀，能夠進(jìn)行 NF3 檢測

無需校準(zhǔn)氣體檢測儀，減少維護(hù)時間和成本

警報聲是響應(yīng)氣體濃度變化逐漸增強(qiáng)的緩慢間歇性聲音，當(dāng)濃度高時，通過連續(xù)的聲音通知

符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)

用

檢測半導(dǎo)體工廠中的半導(dǎo)體材料氣體泄漏

◆ 便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測儀 XP-703DIII 型

◆ 固定式（傳感器單元更換方式）半導(dǎo)體材料氣體檢測單元 PS-7 系列

規(guī)范

目標(biāo)氣體半導(dǎo)體材料氣體

檢測原理恒電位電解

氣體采樣方法自動抽吸

檢測范圍取決于規(guī)格

報警[警報設(shè)置值]

按規(guī)格【報警方式】

蜂鳴器響起，報警燈（紅）閃爍，液晶顯示閃爍

響應(yīng)時間60 秒內(nèi)（60% 響應(yīng)）

大小寬 62×高 150×深 128 毫米（不包括突出部分）

質(zhì)量約 1.3 千克

工作溫度范圍0°C~+40°C

連續(xù)使用時間12 小時或更長時間（使用 NF3 傳感器單元時為 8 小時或更長時間）

* 使用堿性電池時，20°C，無警報。 這取決于環(huán)境條件、使用條件、保質(zhì)期、電池制造商等

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2024/09/18